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產(chǎn)品展示

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光學(xué)平臺:i4系列桌面式主動隔振系統(tǒng)

  • 產(chǎn)品型號:
  • 產(chǎn)品時間:2024-08-13
  • 簡要描述:光學(xué)平臺:i4系列桌面式主動隔振系統(tǒng),用于搭配掃描電子顯微鏡,六自由度主動隔振。
  • 產(chǎn)品介紹

光學(xué)平臺:i4系列桌面式主動隔振系統(tǒng)

產(chǎn)品概述

歐庫睿因主動式隔振技術(shù),高精度設(shè)備的*美展現(xiàn)!

自從高分辨率測量和制造技術(shù)達(dá)到納米尺度以來,振動就一直是一個重要問題。有效消除振動干擾是獲得精確和可重復(fù)測量結(jié)果的關(guān)鍵。解決方法是將儀器與振動源隔離開來。典型的振動來源可能是:

· 建筑物和地面的振動(垂直:5-30 Hz, 水平:0.5-10 Hz)

· 聲學(xué)振動(>20 Hz)

· 機(jī)動設(shè)備和機(jī)器(10-500 Hz)

主動隔振的基本原理是通過產(chǎn)生反作用力對干擾振動進(jìn)行主動補(bǔ)償。

光學(xué)平臺:i4系列桌面式主動隔振系統(tǒng)

精選范例

光學(xué)平臺:i4系列桌面式主動隔振系統(tǒng)

歐庫睿因主動隔振系統(tǒng)的工作原理

光學(xué)平臺:i4系列桌面式主動隔振系統(tǒng)

應(yīng)用設(shè)備和承載臺面由彈簧支撐。其目的是實現(xiàn)主動隔振所需的浮動狀態(tài)。承載臺面可以向各個方向移動。在工作狀態(tài)中,桌面上的應(yīng)用設(shè)備與環(huán)境振動隔離。

振動由極其靈敏的壓電式加速度計檢測。傳感器輸出信號由控制電路進(jìn)行分析和處理,控制電路驅(qū)動電動執(zhí)行器,電動執(zhí)行器實時產(chǎn)生對抗振動的反作用力。主動隔振在6個自由度內(nèi)有效。

光學(xué)平臺:i4系列桌面式主動隔振系統(tǒng)

主要特征

■ 相比于氣浮式隔振臺,主動隔振臺沒有低頻共振,即使在低頻范圍內(nèi)也有出色的隔振性能。

■ 超快的穩(wěn)定時間:低至0.3秒(普通被動隔振臺的 穩(wěn)定時間為30秒至60秒)。

■ 主動隔振臺帶寬0.6/1Hz 至200Hz (遠(yuǎn)超被動隔振臺)。

■ 6個自由度主動隔振。

■ 真正的主動隔振:及時產(chǎn)生反作用力來抵消振動。

■ 操作簡單-按鈕式解決方案。

■ 設(shè)計緊湊,安裝簡便。

■ 高度的位置穩(wěn)定性-1Hz時固有剛度通常是被動隔振臺的20到30倍。

■ 接電即可,無需壓縮空氣。

■ 適用于將高分辨率測量設(shè)備與建筑振動隔離。

■ 廣泛的適用范圍:擁有標(biāo)準(zhǔn)化產(chǎn)品和用戶定制產(chǎn)品。

光學(xué)平臺:i4系列桌面式主動隔振系統(tǒng)

VarioBasic 40搭配成像橢偏儀

光學(xué)平臺:i4系列桌面式主動隔振系統(tǒng)

i4 Large搭配3D輪廓儀


歐庫睿因 | 光學(xué)平臺:i4系列桌面式主動隔振系統(tǒng)

光學(xué)平臺:i4系列桌面式主動隔振系統(tǒng)


i4

i4  Medium

i4Large

尺寸

400x500x90mm

500x600x90mm

550x700x92mm

載重

0-120kg

0-105kg或40-150kg

0-105kg 或40-105kg



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